当山は永徳三年（一三八三）東叡山の僧良弁師により開山（東大寺を建立した日本華厳宗第二祖とは年代が違うので同名異人であろう）の創立としている。
慶安元年（一六四八）に徳川家光より御朱印十六石三斗を賜り、貞享年間（一六八四〜八七）に中興したとしており、「新編武蔵風土記稿」は貞享三年四月に示寂された伝燈阿闍梨の名を挙げている。
堂宇は火炎に依り本堂等を全焼。
明治二十七年に光了阿闍梨によりー応の再建が成り、さらに昭和五十五年に境内を山の中腹に移し、先代ニ十二世光深大僧正により現在の伽藍に生まれ変わった。